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MEMS方位水平仪方位水平变形监测建筑物微型姿态测量装置数据处理 2009/3/2

清华大学微米/纳米技术研究中心研制的MEMS方位水平仪HPR2001、MEMS水平仪PR2002是两款新型的微型姿态测量装置。HPR2001集成三轴加速度计、三轴磁强计和信号调理电路，采用系统整体封装，用于测量三维全姿态；PR2002集成三轴加速度计和信号调理电路，采用系统整体封装，用于测量两维倾斜姿态。由于采用了微机电(MEMS)技术，以上产品具有了微小型固态结构，性能可靠、体积小、重量轻、功耗...