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搜索结果:
1-1
共查到
“
信息光学 Mg
”
相关记录1条 . 查询时间(0.093 秒)
极紫外
Mg
/SiC、
Mg
/Co多层膜的稳定性
极紫外多层膜
多层膜反射镜
稳定性
湿度
2014/3/11
采用磁控溅射法在Si(100)基底上镀制了膜系结构分别为[
Mg
/Co]20、[
Mg
/SiC]20的两组多层膜,以研究
Mg
基多层膜的稳定性。对放置在室温和80%相对湿度环境下的样品进行显微镜、表面粗糙度和X射线掠入射反射率测试,对比研究了
Mg
/Co和
Mg
/SiC两种多层膜结构在相同环境中的损坏状况。对比结果显示:放置4天后,
Mg
/SiC损坏面积为26.34%,表面粗糙度为10 nm;
Mg
/Co的损坏...
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