搜索结果: 31-45 共查到“仪器科学与技术 MEMS”相关记录85条 . 查询时间(0.135 秒)
一种基于MEMS惯性传感器的手势识别方法
手势识别 特征提取 微惯性传感器 人机交互
2014/4/18
随着手机等移动电子设备的发展，应用于嵌入式平台的基于MEMS惯性传感器的手势识别成为一个研究热点。提出了一种简单有效的手势识别方法：通过分析手势的运动学特征，提取手势的加速度和角速度信号特征量，截取手势信号段，利用决策树分类器进行预分类，根据手势信号的变化规律识别具体的手势。该方法在20位实验者中获得了96%的平均准确率，手势识别时间小于0.01S。实验结果表明该算法在嵌入式平台下能快速准确地识别...
MEMS微机械陀螺温度特性分析与建模
MEMS 陀螺 温度特性 零偏 误差补偿
2014/4/16
针对MEMS微机械陀螺的零偏随温度变化波动较大的特性，通过建立MEMS陀螺零偏随温度变化之间的误差模型，在温度范围为-20℃~60℃温箱试验下，分析MEMS陀螺的零偏输出变化，经去除野值后使用建立的误差模型对零偏进行补偿，结果表明，MEMS陀螺仪因温度引起的零偏从最大约为160°/h，经补偿后降至约为10°/h。该温度误差模型使MEMS陀螺的全温区零偏特性得到了一定程度的提升，为提高之后的导航精度...
本文完成了采用环形二极管结构的MEMS陀螺仪接口ASIC电路设计并且理论分析了环形肖特基二极管的温度特性对电路输出的影响。MEMS陀螺仪系统采用高频载波调制方案，在陀螺仪可动质量块施加1MHz载波，将陀螺仪振动信号调制到载波附近。环形肖特基二极管作为调制解调器，解调陀螺仪输出已调信号得到陀螺仪振动信号。这种方案可以有效放大陀螺仪输出信号。理论和仿真结果表明，肖特基二极管阈值电压随温度的变化会改变电...
基于数字式MEMS声传感器阵列的声源定位系统设计
声源定位 MEMS声传感器 DSP 系统设计
2014/4/18
在研究声源定位算法模型的基础上，搭建了声源实时定位系统。采用空间锥形六元阵并结合数字式MEMS声传感器构建定位阵列。以DSP作为系统算法实现平台，完成数据采集模块和数据处理模块设计，分析了IIS音频数据传输的实现，包括数据传输通道的建立和DMA工作方式。通过测试，验证了系统核心模块的性能达到预期效果，具有较好的实用性。
针对当前无人机航姿系统对GPS信息依赖严重的特点，设计了基于MEMS ADIS16405传感器和数字信号处理器（DSC）TMS320F28335的微型惯性测姿系统。以MEMS传感器的角速度、重力加速度、航向信息，建立姿态四元数方程，解算出飞行器姿态。运用扩展卡尔曼滤波方法，消除MEMS陀螺漂移误差。DSC28335的硬件平台实现了四元数扩展卡尔曼滤波算法。转台仿真试验表明，漂移误差能在线最优估计和...
近日，微电子学研究院集成微纳系统中心的10篇科研论文被第17届固态传感器、执行器与微系统国际会议暨第27届欧洲传感器会议（Transducers 2013 & Eurosensors XXVII）录用，其中5篇论文的第一作者为本科生，突显了微电子学科本科生科研训练的新进展。
柔性MEMS减阻蒙皮设计及其制作工艺
减阻蒙皮 柔性MEMS 微气泡 微凹坑 SU-8胶 聚二甲基硅氧烷(PDMS)
2012/12/25
提出了一种电解水式驻留微气泡减阻的柔性微机电系统(MEMS)蒙皮技术,研究了蒙皮结构设计以及加工工艺。设计了一种包含柔性基底层、金属电极图案层和微凹坑阵列层的三层式蒙皮结构,提出了两种基于MEMS工艺的制作方法。分别采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)和SU-8胶材料制作了微凹坑阵列层,并对其关键工序进行了实验研究。以SU-8胶为微凹坑阵列材料制作了柔性MEMS蒙皮样件。所制样件中,圆柱形驻气凹坑的直径...
基于MEMS的微位移传感器及其应用研究
MEMS位移传感器 静电梳齿结构 微扫描探针测头 SPM应用
2014/4/22
对一种基于MEMS探针进行开发，以实现微纳米尺度下的几何量测量。该探针是静电梳齿型结构，含有定齿和连接有主梁的动齿。主梁顶端的探针能够感知样品表面形貌而引起梳齿间位移，梳齿间位移能够带来梳齿间电容的变化。设计了测头的电容信号检测电路。搭建测试系统，利用该系统进行进针实验，标定测头的灵敏度为2.323nm/mV，实验表明测头的非线性误差小于0.22%。利用该测头作为SPM测头，搭建小型SPM系统，对...
针对目前多维振动传感器的需求，研制了一种基于MEMS技术的仿昆虫纤毛三维振动传感器。首先,介绍了振动传感器的仿生机理和工作原理；然后，推导了振动传感器的力学模型并建立了有限元模型；最后，对该传感器进行了静、动态特性分析，并通过实验验证最终得出该传感器的灵敏度为274.18uv/g、维间耦合小于等于0.6125%、测量范围为25g、 共振频率为2342.6Hz、抗冲击能力为100g。
一种新型的电离式MEMS气体传感器
微机电系统 一维纳电极阵 电离式气体传感器 气体电导率
2014/4/18
本文实现了一种新型的电离式MEMS气体传感器，即线性阻抗电离式MEMS气体传感器。该电离式气体传感器创新地采用了电导率而不是常用的击穿电压来检测不同的气体成分，这样可以避免高电压对器件的影响，提高器件工作状态的可重复性和稳定性。该器件在低压条件下不同气体组分中进行气体放电实验，测出了不同的伏安特性曲线和电导率值，从而证实了该器件的气体传感特性。
柔性MEMS减阻蒙皮设计及其制作工艺
减阻蒙皮 柔性MEMS 微气泡 微凹坑 SU-8胶 聚二甲基硅氧烷(PDMS)
2014/3/24
提出了一种电解水式驻留微气泡减阻的柔性微机电系统(MEMS)蒙皮技术,研究了蒙皮结构设计以及加工工艺。设计了一种包含柔性基底层、金属电极图案层和微凹坑阵列层的三层式蒙皮结构,提出了两种基于MEMS工艺的制作方法。分别采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)和SU-8胶材料制作了微凹坑阵列层,并对其关键工序进行了实验研究。以SU-8胶为微凹坑阵列材料制作了柔性MEMS蒙皮样件。所制样件中,圆柱形驻气凹坑的直径...
基于有限元法的MEMS加速度计热应力分析
MEMS 有限元法 电容式加速度计 热应力
2014/4/23
残余应力对MEMS器件的力学性能、可靠性和寿命都有较大的影响。基于MEMS电容式加速度计，采用热结构耦合场分析方法，对热应力的影响进行了仿真分析，并和实验结果进行比较。结果表明热应力不是影响器件性能的主要因素，而仿真模型中未考虑到的一些物理因素和工艺误差则可能是主要因素。针对课题组加速度计的制备过程从工艺的角度提出了相应的改进措施，为加速度计温度补偿模型的完善以及改版设计提供参考。
MEMS电容式湿度传感器后处理工艺研究
聚酰亚胺 湿度传感器 电容型传感器 后处理工艺
2014/4/28
利用标准CMOS工艺结合MEMS后处理制得一种梳齿状结构的电容型湿度传感器。这种湿度传感器采用聚酰亚胺（PI）作为感湿介质。实验研究了聚酰亚胺薄膜的厚度和固化条件对湿度传感器敏感性能的影响，结果显示：聚酰亚胺薄膜厚度为2.4μm，采用阶梯升温加热法，并以250℃作为最高固化温度时，该湿度传感器具有优异的敏感性能。
粒子滤波在MEMS陀螺仪初始对准中的应用
MEMS IMU Singer模型 卡尔曼滤波 粒子滤波
2014/4/28
针对微机电系统 (MEMS，Micro Electromechanical System)陀螺仪的随机误差，引入了粒子滤波处理MEMS IMU的输出数据。借助于机动目标的Singer模型建立了系统状态方程，论文讨论了粒子滤波算法在MEMS IMU滤波处理的应用, 详细描述了算法的推导过程。应用经典卡尔曼滤波和粒子滤波分别处理MEMS陀螺仪初始对准时输出的数据，滤波结果发现，两种算法滤波后各项误差得...