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针对冲击波超压测试方法不足的现状,采用存储测试原理进行了冲击波超压测试系统设计。对比了不同类型压力传感器的优缺点,选用性能优良的ICP压力传感器并配套设计了驱动电路和信号调理电路。采用单片机和CPLD进行数字逻辑电路的集成设计,提高测试系统的智能化和可靠性并减小系统体积。系统标定后参加了多次实弹测试试验,验证了其可靠性和有效性。文中给出了某型弹的冲击波超压测试曲线、正压持续时间和冲量数据。
硅的刻蚀形貌控制是MEMS器件加工中的关键技术之一,形貌控制是硅表面刻蚀和钝化反应取得平衡的结果,任何影响刻蚀和钝化反应的因素都会影响到刻蚀形貌。采用中科院微电子研发中心研制的基于化学平衡原理的ICP-98A等离子刻蚀机,对ICP刻蚀当中影响形貌的关键工艺参数进行了研究和分析,研究了源功率RF1、射频功率RF2及气体(SF6和C4F8)比例对刻蚀形貌的影响,分析了bowing现象产生机制,并给出了...

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