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材料的组织、结构、缺陷与性能
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1-1
共查到
“
材料的组织、结构、缺陷与性能 PCVD
”
相关记录1条 . 查询时间(0 秒)
PCVD
制备Ti1-xAlxN硬质薄膜的结构与硬度
(Ti
Al)N硬质薄膜
微观结构
硬度
2007/12/25
用直流等离子体增强化学气相沉积(
PCVD
)方法获得了硬质薄膜;考察了Al含量及高温退火对薄膜微观结构转变过程及其硬度的影响. 结果表明,制备的薄膜由3---10 nm晶粒组成. 随Al含量增加, 薄膜硬度升高, x超过0.83时, 硬度开始急剧下降; 结构分析证实x小于0.83,薄膜是固溶强化; x=0.83, 薄膜中出现六方氮化铝相(h--AlN). 热稳定性实验表明,薄膜的纳米结构和硬度在N2...
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