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1-1
共查到
“
照相技术 MCP
”
相关记录1条 . 查询时间(0.093 秒)
四通道
MCP
选通X射线皮秒分幅相机
四通道
MCP
选通X射线
皮秒分幅相机
2023/8/23
投影光刻机为制造大规模集成电路关键设备,我所研制光学系统,机械结构由上海无线电机械厂负责。〓主要技术性能指标:焦距:f=86.4
mm
;放大率:M=-1/5倍;象面直径:Φ10
mm
;物距;342.9
mm
;象距:39.86
mm
;相对孔径:1°1.2;光拦孔径可变,最大Φ30
mm
。
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